RecodeX 重构消息,瑞士联邦材料科学与技术实验室(Empa)研究人员开发出一种名为“同步浮动电位高功率脉冲磁控溅射”(SFP-HiPIMS)的新型薄膜制备技术,可在相对较低温度下于绝缘材料表面沉积高质量压电薄膜。该技术有望解决薄膜制造中增强离子能量与抑制有害氩离子之间的长期难题。
瑞士研发新型薄膜技术 低温沉积高质量压电薄膜
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