RecodeX 重构消息,2026年第二十六届中国国际工业博览会上,朗道燧岩展出中国产进度最靠前的极紫外(EUV)光源系统样机,国产化率达90%,绝大多数核心零部件为自主研发,技术路线与国际领先厂商一致,可用于芯片曝光测试。
朗道科技2024年成立,聚焦LPP-EUV光刻光源技术,已陆续完成多轮融资,业务覆盖EUV光源系统、大功率二氧化碳轴快流激光器及等离子体仿真软件。其官网显示,高功率极紫外光源系统系列已完成原理论证,低功率系列处于产品化阶段。
该样机目前仅验证技术路线可行性,距量产仍需3至5年,尚需攻克输出功率提升与长期运行稳定性等核心挑战。