RecodeX 重构消息，中微公司宣布，其Primo Domingo®气相高选择性刻蚀设备全球首台机已顺利付运国内一家重要集成电路研发制造客户。该设备面向GAA、3D NAND、3D DRAM等三维器件工艺需求，填补了国内在下一代3D半导体器件制造中关键刻蚀工艺的自主化空白。随着芯片架构向三维化演进，高选择性刻蚀被视为三维器件制造的关键工艺之一。