RecodeX 重构消息,比利时微电子研究中心(Imec)研究发现,在极紫外光刻后曝光烘烤步骤中增加氧气浓度,可将光刻胶性能提升15%-20%,加速先进芯片制造。
比利时微电子研究中心(Imec)研究发现,在极紫外光刻后曝光烘烤步骤中增加氧气浓...
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