RecodeX 重构消息，上海国资企业已开始量产自主研发的DUV光刻机制造设备，计划2026年生产约5台，2027年扩大至20台，目标交付中芯国际、华虹半导体和长鑫存储等中国主要芯片制造商，推动半导体国产化替代。