RecodeX 重构消息,研微半导体SiC EPI设备再次交付国内上市公司客户,适配6/8英寸SiC晶圆,覆盖新能源汽车功率器件等赛道,支持平面与沟槽类外延量产工艺。
研微半导体SiC EPI设备再次交付国内上市公司客户,适配6/8英寸SiC晶圆,覆盖新能源汽车功率器件等赛道,支持平面与沟槽类外延量产工艺。
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原始信息来源新浪财经
RecodeX 重构消息,研微半导体SiC EPI设备再次交付国内上市公司客户,适配6/8英寸SiC晶圆,覆盖新能源汽车功率器件等赛道,支持平面与沟槽类外延量产工艺。