RecodeX 重构消息，中国科学院上海光机所研究人员研制出激光等离子体EUV光源平台，在2025年3月论文中实现3.42%的转换效率，成为迈向国内先进芯片制造的关键一步。EUV是7纳米以下制程的瓶颈，而ASML被禁止向中国出售其最先进的光刻机。