RecodeX 重构消息,中国芯片设备开发商持续取得技术进展。国产化学机械抛光设备龙头华海清科周四发布一款面向六英寸晶圆的新型计量系统,可实现超精密测量。晶圆抛光是硅片平坦化和平滑处理的关键制造步骤,而中国在更复杂的制造工序上仍高度依赖外国供应商。
中国芯片设备商华海清科发布六英寸晶圆计量系统
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