RecodeX 重构消息，SpaceX近日宣布将与特斯拉合作，初期投资168亿美元，在美国得克萨斯州建设Terafab芯片设施。有博主根据Terafab发布的信息猜测，特斯拉可能采用自由电子激光器（FEL）技术路线，以挑战阿斯麦的LPP EUV光源。马斯克随后回应“FEL FTW”，似乎印证了这一猜测。FEL技术具备高功率、高相干、波长可调等优势，理论上可将光刻光源从13.5nm推向6nm甚至更短波长，但庞大的加速器系统、成本及量产稳定性仍是产业化挑战。