RecodeX 重构消息，8月21日，《中国（上海）自由贸易试验区临港新片区发展“十五五”规划》正式发布。规划提出，“十五五”期间，临港新片区将建成自主可控、全链创新的集成电路产业，加快逻辑制程与特色工艺产能建设，持续提升良率水平，加速规模化量产。同时，加快专用设备和核心设备发展，强化光刻胶、真空阀等材料零部件布局。