RecodeX 重构消息，晶升股份自主研发的大尺寸CVD SiC化学气相沉积涂层成套设备近日完成整机出厂检验，正式装车发运交付客户。此举标志着该公司在大尺寸碳化硅涂层工艺装备领域取得重要进展，为半导体热场关键部件的国产化制造提供支撑。