国产350nm光刻机获批量订单，实现100%自主可控

国产350nm光刻机获化合物半导体批量订单

RecodeX 重构消息，芯上微装自主研发的350nm步进投影光刻机AST6200通过国内化合物半导体头部企业全流程工艺验证，并获批量重复采购订单。该设备具备350nm稳定分辨率，兼容多种衬底材料，软件控制系统全栈自主开发，适用于功率器件等产线，从首台发运到获批量订单仅用9个月，填补国产中高端光刻设备在第三代半导体量产线的空白。芯上微装系上海微电子拆分设立，专注“超越摩尔”赛道，在先进封装光刻机市场全球占比约35%，国内占比90%。