湖南大学研发分步蒸镀技术，二维晶体管性能提升两个数量级

RecodeX 重构消息，湖南大学柳畅副教授团队联合多单位研究人员，研发出Step-Eva分步蒸镀技术，通过每次蒸镀约0.5纳米后停顿5分钟的循环模式，利用时间域解耦的弛豫外延机制，使金属原子充分迁移重排，实现金属电极从多晶到单晶的跃迁。该技术制备的二维晶体管性能较传统方法提升约两个数量级，接触电阻仅为传统方法的约三分之一，适用于多种金属和二维半导体材料，薄至8纳米仍能保持完整导电。目前该研究处于实验室阶段，团队正考虑与企业合作推进设备开发和工艺放大。