RecodeX 重构消息，美国商务部长霍华德·卢特尼克向ASML表示，他相信有一台被出口禁令限制的EUV光刻机已进入中国。ASML回应称，公司对其已生产的全部340台EUV设备均有追踪记录，没有任何一台位于中国。与此同时，清华大学及与华为关联的SiCarrier正加速研发替代方案，可能使这一争议失去意义。