RecodeX 重构消息，摩根大通分析指出，ASML预计不会转向自由电子激光（FEL）技术，而是继续沿用激光等离子体（LPP）方案。该公司计划在未来几年内将光源功率提升至1000W。
摩根大通：ASML不太可能采用自由电子激光，坚持LPP路线
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