RecodeX 重构消息,ASML明确表示不会采用马斯克支持的粒子加速器芯片制造技术,而是继续加码1000瓦激光产生等离子体(LPP)系统,用于其芯片制造设备。该公司选择深耕现有激光等离子体光源路线,而非转向粒子加速器方案。