RecodeX 重构消息，据Tom's Hardware援引CTS数据，2012年至2026年初，中国逻辑芯片与存储芯片制造商累计购入约343台ASML浸没式DUV光刻机。报道称，其中许多设备具备制造7纳米芯片的能力，显示中国已拥有相当规模的浸没式DUV产能。