RecodeX 重构消息，ASML及其光学合作伙伴蔡司（Carl Zeiss）的工程师在一篇经同行评审的论文中表示，作为ASML最先进芯片制造设备的继任者，新一代设备预计将在约10年内问世。论文称，这款被命名为“Hyper NA”的设备将大量复用两家公司现有技术，同时实现更精细的电路图案化，但仍面临诸多挑战。ASML已开始研发该设备，尚未承诺投入生产。