RecodeX 重构消息,在2026湾芯展开幕式暨半导体产业发展峰会上,拓荆科技发布非晶碳薄膜沉积技术Flowable Carbon,该技术已应用于NF-300M Supra-H设备。公司称,该技术系列通过前驱体选择与工艺条件控制,稳定实现两种填充性能不同的可流动碳膜工艺,分别为Capi-Carbon和Sedi-Carbon。