RecodeX 重构消息，在上海举行的中国国际工业博览会上，中国初创企业朗道硅垒展示了自主研发的极紫外（EUV）光源系统原型机。该设备被视为先进光刻系统的“心脏”，是北京推动芯片制造设备自主可控的关键早期一步。

据介绍，该机器90%的零部件实现本地化，绝大多数核心部件为自主开发。