RecodeX 重构消息，2025年湾芯展上，一批国产半导体设备、材料与工具新品集中亮相。刻蚀设备龙头中微公司推介了最新发布的两款高端半导体微观加工设备；华海清科发布中束流离子注入机产品；微导纳米推出全新iMagtron系列磁控溅射系统（PVD）及Ru超薄膜工艺专用ALD设备，实现ALD、CVD、PVD三大主流薄膜沉积技术路线全体系覆盖。
湾芯展国产半导体设备新品集中亮相，中微华海清科微导纳米推高端装备
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原始信息来源新浪财经
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