RecodeX 重构消息，10月20日，中科仪公告，公司计划在已有募投项目“干式真空泵产业化建设项目”和“高端半导体设备扩产项目”基础上，实施集成电路干式真空泵扩产项目，项目拟投资42,313.48万元，资金来源为自筹资金。

其中，中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司及上海分公司拟投资19,144.70万元，实施主体为中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司；中科仪（南通）半导体设备有限责任公司拟投资23,168.78万元，实施主体为中科仪（南通）半导体设备有限责任公司。