RecodeX 重构消息,美国马萨诸塞州什鲁斯伯里消息,PI在SEMICON West 2026上发布新款气浮扫描平台A-323。该产品为美国本土制造的平面XY平台,具备2g加速度并配备反作用力管理,可提升运动稳定性与吞吐效率,使每次移动后工艺能更快启动。产品主要面向计量与晶圆检测应用。