RecodeX 重构消息,苏州智材科技宣布自主研发的6英寸MRAM-MgO靶材研制成功,纯度达4N、致密度超过99.8%,晶粒均匀性等关键指标达到国际先进水平,为磁隧道结绝缘势垒层材料补上国产化最后一块短板。此前该材料长期依赖进口。
设备环节,江苏鲁汶仪器的离子束塑形设备将IBS、ICP刻蚀与PECVD腔室集成于同一真空平台,可解决磁隧道结刻蚀残留污染问题;升级后的12英寸LMEC-300已交付客户并完成验收销售,公司今年6月科创板IPO申请获受理,拟募资25亿元。
制造端,驰拓科技自建12英寸MRAM产线,形成90nm、40nm、28nm三个量产平台,产品覆盖256kb至64Mb容量;上海Siproin的STT-MRAM已完成商业出货,致真存储的256Kb SOT-MRAM芯片在无人机飞控中完成商用验证。