RecodeX 重构消息，PI（Physik Instrumente）展示了三款技术验证样机：400毫米直线平台、旋转晶圆平台和皮米级原子力显微镜扫描器。这些设备通过电子方式校正运动误差，运动过程中无轴承接触、无需润滑，也不存在磨损。

该零接触六自由度运动方案面向混合键合与晶圆量测等半导体制造应用场景。