RecodeX 重构消息，11月5日至10日，第九届中国国际进口博览会在上海举行。上海微电子装备集团携自主研发的新一代前道干式扫描投影光刻机SSC800、SSB800模型亮相中国馆，展示国产前道光刻装备自主化的阶段性成果。

据介绍，目前国产前道干式光刻机成像性能已与国际同类领先产品水平相当，套刻精度与生产效率正紧密追赶国际标杆。