中微公司发布Primo Matrix双反应台等离子体晶圆切割设备并完成首台交付

RecodeX 重构消息，中微公司正式发布全新产品Primo Matrix®双反应台等离子体晶圆切割设备，并宣布首台设备已顺利付运国内一家重要集成电路封装客户。该设备采用双反应台等离子体切割技术，面向晶圆切割环节。