中微公司发布Primo Matrix双反应台等离子体晶圆切割设备并完成首台交付

中微公司首台等离子体晶圆切割设备完成交付

RecodeX 重构消息，中微公司宣布，其首台等离子体晶圆切割设备已完成交付。该设备属于半导体晶圆加工环节的切割装备，此次交付标志着中微公司在等离子体刻蚀设备之外，将产品线延伸至晶圆切割领域。