恒运昌Cedar系列射频电源部分机型进入小批量试产
RecodeX 重构消息，9月16日半年度业绩会上，恒运昌董事长、总经理乐卫平介绍，截至2026年半年度，公司新一代等离子体射频电源系统Cedar系列已将射频电源和匹配器整合为一体化平台，可支撑5纳米及以下更先进制程，目前部分机型处于小批量试产阶段。公司表示将持续推进该系列产品的验证工作。
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恒运昌Cedar射频电源
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