国产第五代内存芯片技术曝光：无需EUV四重曝光逼近三星11nm工艺
RecodeX 重构消息，国产第五代内存芯片技术细节曝光，该方案无需依赖EUV光刻设备，通过四重曝光工艺实现，制程水平据称已逼近三星11nm工艺。
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国产第五代内存芯片
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