奕瑞科技QRGA半导体监测产品

RecodeX 重构消息，9月16日半年度业绩会上，奕瑞科技董事长、总经理顾铁介绍，公司基于电真空技术与真空测量的长期积累，推出QRGA-01S、QRGA-CIS、QRGA-HPR三个系列的工艺管控级产品及配套电弧检测系统，可为半导体工艺提供实时痕量气体监测与等离子体状态预警。该产品及相关耗材已在多家半导体客户完成验证并实现销售，预计2026年全年实现数千万元收入。