金刚石异质结半导体

RecodeX 重构消息，中国电科产业基础研究院固态微波器件与电路全国重点实验室金刚石团队在金刚石异质结方向取得突破，制备出首个立方相氮化铝/金刚石异质结材料及场效应晶体管。团队提出畴匹配外延生长模式，以金刚石表面氢终端作为调控反应平台，形成高质量单晶立方氮化铝/金刚石异质结，并研制出高性能增强型异质结场效应晶体管。该工作打通了从理论计算到材料制备再到器件验证的关键环节，为高性能金刚石射频器件提供材料基础，其异质结外延方法为半导体材料制备提供新范式。团队下一步将优化材料与器件工艺，支撑新一代超宽禁带半导体技术升级。