原创报道
2026.06.22 20:14 约 6 分钟 硬件/芯片 1.9万 阅读

Nearfield Instruments 融资 3.8 亿美元估值 16 亿美元:当 3D 芯片堆叠逼近物理极限,谁在用“原子级 metrology”为下一代 AI 芯片护航?

项目速览
项目名称 Nearfield Instruments
融资轮次 D 轮(Series D)
融资金额 3.8 亿美元
投资方 Fidelity Management & Research Company, Temasek(淡马锡)、Walden Catalyst Ventures、Innovation Industries、M&G、Invest-NL、TNO Ventures、ING、QIA(卡塔尔投资局,新进)
RECODEX PARTNERSHIP
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当科技界将所有目光都投向台积电(TSMC)的 2 纳米产能以及英伟达(NVIDIA)的最新 GPU 时,半导体制造物理世界中最危险的瓶颈正在悄悄发生转移。在原子级尺度下制造数十亿个晶体管,真正的难点正在从“如何把它们刻在硅片上”,演变为“如何检查它们是不是完好无损”。如果无法精确测量和控制制造工艺中的原子级偏差,芯片巨头的生产线就将陷入良率崩盘的深渊。

Nearfield Instruments 正在通过其革命性的三维纳米级测量技术,成为这场半导体良率战争的决定性力量。2026年6月,这家总部位于荷兰鹿特丹的半导体 3D 计量与过程控制系统供应商宣布完成了高达 3.8 亿美元的 D 轮融资。这是荷兰科技创业史上规模最大的私募融资轮之一,成功将 Nearfield 的投后估值推上了 16 亿美元,正式确立了其行业独角兽地位。

项目 详情
公司名称 Nearfield Instruments
融资轮次 D 轮(Series D)
融资金额 3.8 亿美元
估值 16 亿美元(Unicorn)
领投方 Fidelity Management & Research Company
跟投方 Temasek(淡马锡)、Walden Catalyst Ventures、Innovation Industries、M&G、Invest-NL、TNO Ventures、ING、QIA(卡塔尔投资局,新进)
官网 https://nearfieldinstruments.com

本轮融资由富达投资(Fidelity)领投,跟投方包括淡马锡(Temasek)、Walden Catalyst Ventures、Invest-NL、卡塔尔投资局(QIA)等全球顶级主权基金与芯片产业基金。

3D 堆叠时代的良率战争:从设计瓶颈到测量瓶颈

半导体行业正在步入一个全新的物理纪元。

为了在摩尔定律的尾声继续压榨算力性能,芯片制造商正从传统的“平面二维晶体管”转向“三维立体晶体管”架构(如 Gate-All-Around,环绕栅极 FET),以及多层芯片的 3D 堆叠(如 HBM 内存与逻辑芯片的异构封装)。

在这个过程中,晶体管的通道尺寸已经收缩到了接近 5 纳米以下(约相当于 20 个硅原子宽度),并且被深埋在具有极高长宽比的“纳米壕沟”和隐蔽的芯片夹层中。

在传统的二维制造时代,芯片厂商可以使用电子显微镜(SEM)或光学测量仪来检查硅片表面的缺陷。然而,面对 GAA Transistors 的多层环绕结构和 3D 芯片的多层夹层,这些传统的测量工具彻底“失明”了:

  • 电子束(SEM):只能看清表面,无法穿透并测量深达数百纳米的深孔内部三维几何特征。
  • 光学测量:受限于光的衍射极限,在原子级尺度下无法分辨极其微小的物理变形。

如果制造过程中的刻蚀深度偏差了哪怕 1 个纳米,或者隐蔽层中夹杂了一个原子级的异物,整颗芯片就会报废。这种“看不见缺陷”的状态,正在让 3D 芯片厂的良率爬坡成为一场噩梦,直接导致先进芯片制造成本的飙升。

“原子针尖”与“非破坏性 3D 扫描”的突破

Nearfield Instruments 攻克这一难题的武器是其独创的高通量多探针原子力显微镜技术(High-Throughput Multi-Probe Atomic Force Microscopy, AFM)

传统的 AFM 计量就像是一根极细的唱针在唱片上滑过,通过感知原子的排斥力来勾勒出物体的三维轮廓。这种方法精度极高,但有一个致命缺点:极慢。扫描一个硅片可能需要数小时,根本无法满足半导体晶圆厂(Fab)每小时处理数十片晶圆的量产吞吐量要求。

Nearfield 实现了两项革命性的工程跨越:

  • 并行多探针架构(Multi-Probe Architecture):在单个测量舱内,同时操纵数百个极其微小的悬臂探针进行协同扫描,将测量吞吐量(Throughput)提升了几个数量级,使其可以直接切入晶圆厂的实时生产流水线。
  • 非破坏性亚纳米深度穿透:探针能够极其轻柔地深入高深宽比的 3D 沟槽内部,在不损伤脆弱的纳米结构的前提下,测出晶体管栅极的实际厚度、陡峭度和隐蔽孔洞的几何轮廓,精度达到 0.1 纳米级别

通过这种“原子级 3D 扫描仪”,晶圆厂可以在刻蚀等关键工序完成后,立即发现微小的工艺偏离并实时校准设备,在晶圆被送去进行下一步封装前拦截缺陷,挽救数以亿计的芯片良率损失。

荷兰半导体巨浪:ASML 之外的“隐形巨无霸”

在半导体设备(SPE)赛道,Nearfield 处于一个极具战略价值的生态位。

长久以来,半导体计量与检测市场主要被美国巨头科磊(KLA)、应用材料(Applied Materials)和日立(Hitachi)垄断。Nearfield 依靠着从荷兰应用科学研究院(TNO)剥离的技术火种,在鹿特丹和阿斯麦(ASML)的家乡埃因霍温之间,构建了全新的技术流派。

KLA 等巨头在二维显微成像上具有统治力,但面对“深入 3D 沟槽内部测量”这一特殊领域,Nearfield 的高通量 AFM 是目前晶圆厂唯一的选择。

公司的联合创始人兼首席执行官 Hamed Sadeghian 表示,D轮资金将用于大规模扩张在荷兰的生产基地,并全球化建立“应用卓越中心”(Applications Centers of Excellence),与台积电、三星、英特尔等大厂开展更深度的前沿研发合作。

工业量产的稳定性考验

Nearfield 的终极考验,在于其精密机械在晶圆厂恶劣的震动、电磁和连续运转环境下的物理极限。在 7×24 小时不停转的半导体生产线中,如何保证数百根原子级探针的磨损率可控、以及如何快速更替老化探针而不中断生产,是其能否从“小规模试用”跨越到“SPE 顶级设备供应商”的关键一步。

RecodeX 极客视点:Nearfield Instruments 的崛起,昭示着半导体制造的瓶颈已从“微缩极限”转向“控制极限”。在 GAA 和 3D 堆叠晶体管时代,看不见的缺陷是良率的最大杀手。Nearfield 通过攻克高通量 AFM 的速度瓶颈,将“原子级 3D 唱针”成功塞进了晶圆厂的实时流水线。在 ASML 之外,Nearfield 正在成为欧洲半导体设备生态圈中又一块无法替代的拼图。

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